MSAA氣浮高直線度/高精度系列
主要面向半導體制造、電子制造設備等高精度定位、檢測場合。- 產品介紹
- 產品特性
- 技術參數
- 圖片參考
- 主要面向半導體制造、電子制造設備等高精度定位、檢測場合。
- 分辨率：可達1nm
- 直線度/平面度：優于1μm
- 高穩定性花崗石基臺
- 重復定位精度：優于0.5μm
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Product CenterMSAA氣浮高直線度/高精度系列
主要面向半導體制造、電子制造設備等高精度定位、檢測場合。
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